真空泵品牌：阿尔卡特Alcatel

真空泵类型：油泵

真空泵型号：2033C

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Alcatel阿尔卡特2033C双级旋片真空泵，C1和C2兼容的半导体泵，使用perfluoropolyester（PFPE）惰性液体（Krytox®或Fomblin®油）。相较于C1/C2系列泵，2033C增加其含在半导体工艺中的抗氯和氟气体，叶片是由一种复合材料，在高压阶段时它提供高耐化学性。进气和排气的硬件是不锈钢速，提供27CFM的抽速和1.5x10-4torr的极限压力。