真空泵品牌：阿尔卡特Alcatel

真空泵类型：油泵

真空泵型号：2063C

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Alcatel阿尔卡特双级旋片真空泵已完全重建使用perfluoropolyester（PFPE）惰性流体（Krytox®或Fomblin®油）半导体C1和C2兼容。C2半导体兼容系列泵的份额的C1系列的耐化学特征，但不同的方式，提高其抗氯和氟含在半导体工艺中气体。在高压级叶片复合材料制成，具有耐化学性。进气和排气的硬件是不锈钢极限压力1.5x10-4torr。