真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：罗茨泵

真空泵型号：61B 5HR

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61B 5HR（裸轴）制程隔离增压泵，水平流动。Edwards制程隔离增压泵适合与滑阀泵、液环泵、旋片泵和干真空泵结合使用，用于提高工作压力下的抽速并显著缩短抽气时间。这些制程隔离增压泵可单独安装，也可安装在前级泵的进气口上以形成一个紧凑的集成系统。6" 制程隔离增压泵带有一个超大直径的轴，可作为一种极为坚固、耐用的机械增压泵与功率较高的电机结合使用。这样，这些泵就可通过一台规格适宜的前级泵在大气压下满排量运转。另外，61B制程隔离增压泵还采用了旁通技术，可提高您的生产效率，同时确保一致和可重复的真空处理。旁通阀将限制最大压力差，可使增压泵从大气压下启动，并提高整个压力范围内的抽送能力。制程隔离增压泵必须由一台排放到大气压的主真空泵来支持。