真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：罗茨泵

真空泵型号：EH500

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Edwards EH机械增压泵,即罗茨泵采用独特的液力驱动，可实现高效的动力传送，在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合，这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动，从而减少总体抽气时间。可用于压力范围为0.01至10 mbar，需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。EH500系列含EH500IND、EH500FX、EH500C、EH500T3。