dwards 干式涡旋泵为各种应用提供经过验证的干燥、清洁真空解决方案。

在需要无油泵送的情况下，涡旋泵是旋转叶片泵的绝佳替代品。

XDS 干式涡旋泵

 

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

当干式泵送必不可少时，它已成为行业标准，在一系列应用中被证明是一种强大且清洁的真空泵解决方案，抽速高达 40 m3h-1。

 

• 再迈出一步！

获得专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀的结合使 Edwards 能够提供XDS35i 增强型泵系列，以补充我们原来的系列。

XDS35i 采用智能驱动技术来维护泵并提供全球性能。

降低粗加工压力下的峰值功率要求和持续更高的粗加工速度：这些泵使用户能够解决性能范围，并有助于那些对粗加工性能或抽空大腔室容积的能力很重要的特殊应用。

增强版本在初始抽气期间可将峰值功率要求降低 20%：这意味着它能够抽空大体积的腔室而不会损失性能。

在这些粗加工压力下，它的抽速提高了 25%，这也有助于更高频率的循环应用。

 

XDS 的好处！

 

• 轴承护罩： 确保工艺气体和轴承润滑之间的隔离，以确保清洁真空，并且不会有工艺气体污染润滑的可能性，从而延长轴承寿命。
• 智能电机驱动： 意味着全局一致的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
• 高流量气镇： 允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽
• 简单的单面涡旋设计：可以在几分钟内完成维护，从而降低拥有成本并最大限度地延长正常运行时间。

nXDS 干式涡旋泵

 

Edwards nXDS15i 干式涡旋泵

与其他泵相比，提供更高的抽速、更低的极限压力、更低的功耗和更低的噪音水平。

 

nXDS 泵设计为完全可现场维修。

其智能控制功能和长达五年的服务间隔确保了较低的拥有成本，使其成为当今最先进技术的首选小型干泵。

板载泵控制器允许：

• 具有自动选择的宽范围电压输入，
• 易于使用的手动控制按钮，包括用于高效过程调整的待机速度控制按钮 
• ...为了更方便的操作，还配备了远程控制界面。

 

nXDS 将涡旋真空技术提升到一个新的水平：

改进的性能、卓越的泵送能力、安静的运行和延长的维修间隔使 nXDS 成为终极干式选择！