真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：干泵

真空泵型号：QDP40

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Edwards爱德华QDP40干式真空泵是一四阶段，容积式回转泵。这些“干泵”是半导体加工的腐蚀性环境的理想选择。应用范围从轻型装载和溅射过程要求包括等离子体刻蚀、LPCVD、PECVD、和MOCVD。