真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：真空计

真空泵型号：AIGX

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Edwards有源离子真空计(AIGX)是紧凑型有源离子真空计，配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从5x10-2Torr到5x10-10Torr（6.6x10-2到6.6x10-10mbar），并且提供1V/decade 线性输出。Edwards AIGX 具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。