真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：分子泵

真空泵型号：EXT75DX

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Edwards EXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。 EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至最低。 EXT75DX是一种是混合轴承复合分子泵，它将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上24V控制器结合在了一起，该控制器可实现与TAG和TIC控制器兼容的并行和串行通信。它随附aDN40NW、ISO63、DN63CF或ISO100入口法兰，N2抽速最高可达 66ls-1。 基本的泵系统可能需要EXT75DX泵、TAG或TIC控制器，或者空气或水冷却附件以及合适的前级泵。