真空泵品牌：安捷伦Agilent

真空泵类型：油泵

真空泵型号：MS 631

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Agilent Varian MS-631高容量旋片泵是单级油润滑旋片真空泵，由法兰电机驱动，通过弹性联轴器连接。他们适合抽非腐蚀性气体。在泵的入口有一个过滤网，以防止直径大于1.5毫米的固体部分入侵。此外，综合止回阀防止油倒流。油箱里有一个系统的油烟分离排出的空气（2.4毫克/立方米对应的最大残余2ppm /重量）。分离出来的油由泵自动恢复。标准气镇阀，防止凝结在泵即使抽真空蒸汽量小。MS-101真空泵易于维护，服务和维修。