真空泵品牌：安捷伦Agilent

真空泵类型：涡旋泵

真空泵型号：SH-112

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Agilent SH-112是涡旋真空泵提高了实心密封技术，可以持续长达24个月的端部密封。这种单级泵结构紧凑，抽速可达 110 L/min（频率 60 Hz），极限压力为 50 mtorr (0.07 mbar)，是许多终端用户应用的理想选择。SH-110 泵符合欧盟认证 (CE)、加拿大标准协会认证 (CSA) 和 Semi S2-0200 的要求。