摘要：

　　真空度是指在一个闭合的空间内，不同种类气体的分压的总和与大气压之比。真空度的高低取决于气体分压大小。而真空泵的极限真空度则是指通过真空泵抽取到的高真空度。本文将从四个方面详细阐述真空泵的极限真空度，并给出相关的知识背景信息。

　　正文：

　　一、真空泵的工作原理

　　真空泵通过降低被抽体内气体的压力，从而达到真空的效果。因此，真空泵的真空度与被抽体内气体的压力大小有着密切关系。真空泵主要有机械泵、分子泵和离子泵等，它们的工作原理不同，极限真空度也不同。

　　二、被抽体的性质

　　被抽体的性质是影响真空度的重要因素。一般来说，惰性气体对真空的持久性要比活性气体要好，并且在相同的抽气条件下，真空泵抽取惰性气体所得的真空度要高于活性气体。

　　三、真空管道系统的影响

　　真空管道系统是组成真空体系的重要组成部分。优良的高真空管道系统可以有效地提高真空度，而瑕疵或污染的管道则会降低真空度。因此，在实际应用中，需要对管道系统进行保养和清洗。

　　四、真空泵的质量和维护

　　真空泵的质量和维护也是影响极限真空度的因素之一。真空泵运行一段时间后，由于各种因素的影响，如腐蚀、磨损、油污等，极限真空度可能会降低。因此，需要定期对真空泵进行检测和维护，以保证较高的真空度。

　　总结：

　　真空泵的极限真空度取决于多个因素，包括真空泵的类型、被抽体的性质、真空管道系统的影响以及真空泵的质量和维护等。要想实现更高的真空度，需要充分了解这些因素，并采取相应的措施来提高真空度。未来，随着科学技术的进步，我们相信真空技术的应用范围将更加广泛，真空技术的重要性也将日益凸显。