摘要：本文主要介绍了真空镀膜泵的维修、故障排除与维护。从清洁、润滑、更换零部件等方面进行详细阐述，同时针对不同的故障情况提供了相应的处理方法。通过本文的介绍，读者可以全面了解真空镀膜泵的维护和维修。

　　1、清洁

　　真空镀膜泵的清洁需要定期进行。首先要将泵体外表面的灰尘和污垢清洗干净。清洗的时候好使用中性清洁剂，不要使用酸、碱等化学药品。其次，要将泵体内部的油污和杂质清除干净。在拆卸和安装泵体过程中，要注意保持清洁，避免污染泵壳内部。

　　2、润滑

　　真空镀膜泵的润滑是维护的重要部分，润滑油的使用需要注意。在选择润滑油时，要根据泵型号和使用条件选择相应的油品。在添加润滑油时要注意，不要过多或不足，以免影响泵的工作效率。

　　3、更换零部件

　　真空镀膜泵的部件经过长期使用后，会出现磨损、老化等情况，需要及时更换。在更换零部件前，要先了解泵的工作原理和结构，然后再根据具体情况进行逐一拆卸，更换新的零部件。

　　4、故障排除

　　在真空镀膜泵的使用过程中，会遇到各种各样的故障。比如泵无法启动、噪音异常、不稳定等情况。对于这些故障，需要借助专业设备进行检测和维修。如果是泵体内部出现问题，需要进行拆卸、清洗和更换相应的部件。

　　总结：真空镀膜泵是生产加工过程中重要的设备，合理维护和维修可以延长其使用寿命。本文从清洁、润滑、更换零部件和故障排除几个方面，对维修和维护进行了详细讲解。对于使用真空镀膜泵的读者来说，本文提供了一定的参考和帮助。