摘要：

　　单晶炉真空泵是单晶生长过程中必不可少的设备之一。在选购与维护单晶炉真空泵时，需要重视多个方面。本文将从四个方面对单晶炉真空泵的选购及维护做详细的阐述，帮助读者更好地了解单晶炉真空泵。

　　正文：

　　一、性能参数

　　1、流量

　　单晶炉真空泵在单晶生长过程中需有足够的流量，以保持合适的真空度。流量需根据单晶炉的实际情况进行确定。

　　2、抽速

　　选择单晶炉真空泵时，需重点考虑抽速。选用抽速越大的单晶炉真空泵，能让单晶炉达到较高的真空度。

　　3、截止真空度

　　单晶炉真空泵达到的截止真空度越低，则其工作过程中所处环境的气体分压越小，可以减少单晶生长中杂质的量。

　　二、工作方式

　　1、机械泵

　　机械泵是基本的单晶炉真空泵，它是通过转子的高速旋转将气体固定在泵体内进行排气。机械泵抽取到一定真空后，将会失效，此时需改用其它真空泵进行抽取。

　　2、分子泵

　　分子泵的工作方式是通过分子的撞击将气体排除。分子泵适合抽取高真空度下的气体，在单晶生长过程中可有不错的应用。

　　3、增压泵

　　增压泵的工作方式是将气体压缩并推入高真空泵中，使之达到合适的真空度标准。在多级泵组合使用的过程中，增压泵将起到重要的作用。

　　三、材质选择

　　选择单晶炉真空泵材质，需要考虑气体的成分，有些气体会对泵有腐蚀，特别是在化学反应中的气体，这些气体的对泵的材质的要求很高。对此，可以采用不同的泵材质进行选择，例如：不锈钢、塑料等。

　　四、维护与保养

　　1、泵体不记录

　　通过对泵体进行定时的检查，确保其内部摩擦面不录像，同时还需要检查密封状态，以确保泵体的真空度。

　　2、油脂清理

　　针对机械泵，在运行中需定期进行油脂清理，清理油污可以保证泵体正常的运作和抽真空的效果。

　　3、密封件更换

　　针对泵的密封件，需注意旧件必须彻底清洗干净或更换新件，以确保泵体的耐用度和真空度不受影响。

　　总结：

　　单晶炉真空泵的选购与维护是单晶生长过程中非常重要的环节，只有做好了这些环节，才能确保单晶炉的正常运作和单晶品质。在选择单晶炉真空泵的时候，我们必须关注其性能参数、工作方式、材质等方面的问题，同时，我们也需要在使用过程中科学维护和保养。