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罗茨真空泵基本原理

分类:技术资料 发布时间:2023-12-06 11:30:02 浏览量:

罗茨真空泵是一种常见的真空泵,它工作原理是运用2个彼此啮合的转子在泵旋转,将气体从进风口吸进,通过转动后排出来,以此来实现真空的提取。下面我们就来详细了解一下罗茨真空泵的基本原理。

1. 罗茨真空泵的构造

罗茨真空泵一般由彼此啮合的转子和泵壳构成。转子是通过好几个叶片所组成的,叶片的形态数量取决于离心泵特性。泵壳内有2个转子的啮合一部分,称之为啮合区。啮合区域形状尺寸也会影响到离心泵特性。

2. 罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理是运用2个彼此啮合的转子在泵旋转,将气体从进风口吸进,通过转动后排出来,以此来实现真空的提取。主要流程如下所示:

(1)转子转动:罗茨真空泵的两大转子在泵旋转,一个转子称为主导转子,另一个转子称之为从转子。主转子和在转子的叶片总数不一样,但它们的叶片样子同样,相互啮合。

(2)气体吸进:当主转子和在转子转动,它们啮合区要不断转变,最终形成一系列的封闭空间。当啮合区域容积扩大时,泵里的工作压力也会降低,这时气体是从进风口进到泵内。

(3)气体排出来:当啮合区域容积减少时,泵里的气体能被缩小,这时气体能被排出来泵壳。因为主转子和在转子的叶片样子同样,它们啮合区域内气体压力和流动速度是一样的,因而气体能够平稳排出来泵壳。

(4)连续运行:罗茨真空泵的两大转子是彼此啮合的,因而他们可以自动地转动,进而不断吸进和排出来气体,完成真空的提取。

3. 罗茨真空泵的优势

罗茨真空泵主要有以下优势:

(1)高真空度:罗茨真空泵能够实现高真空度,一般能够达到10^-3Pa的真空度。

(2)全无油运作:罗茨真空泵是一种全无油运转的真空泵,因而不会造成油蒸汽和油污染。

(3)低噪声:罗茨真空泵的运转噪声比较低,也不会对办公环境造成什么影响。

(4)高效化:罗茨真空泵的转子运动速度比较高,所以可以完成更高效的真空提取。

4. 罗茨真空泵的使用

罗茨真空泵广泛用于半导体材料、电子光学、电子器件、化工厂、药业等行业。它可用作真空干躁、真空制冷、真空分馏、真空外包装、真空吸咐等工序。在半导体材料生产过程中,罗茨真空泵一般用于提取高纯气体,以确保半导体元器件的品质。在化工厂行业,罗茨真空泵可用作提取有毒有害物质气体,以确保办公环境的安全性。在制药行业,罗茨真空泵可用作制取高纯药品生物制药。

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