国内容积真空泵行业性能测试标准及方法（一）
分类：技术资料 发布时间：2017-06-18 11:22:00 浏览量：
ICS 23. 160
J 78
中华人民共和国国家标准
GB/T 19956. 1-2005/IS0 1607-1:1993
容积真空泵性能测量方法
第1部分：体积流率（抽速）的测量
Positive-displacement vacuum pumps-Measurement of performance
characteristics-Part l:Measurement of volume rate of flow (pumping speed)
2005-09-19发布
(IS0 1607-1:1993, IDT)
2006-04-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总复发布
中国国家标准化管理委员会
刖 旨
GB/T 19956. 1-2005/IS0 1607-1:1993
GB/T 19956《容积真空泵性能测量方法》分为两个部分：
——第1部分：体积流率（抽速）的测量；
——第2部分：极限压力的测量。
本部分为GB/T 19956的第1部分。
本部分等同采用IS0 1607-1:1993《容积真空泵性能测量第1部分：体积流率（抽速）的测量》。
本部分代替JB/T 7266-1994《容积真空泵性能测量方法》。
本部分等同翻译ISO l607-1:1993。
为便于使用，本部分做了下列编辑性修改：
a) “IS0 1607的本部分”一词改为“GB/T 19956的本部分”；
b)用小数点符号“．”代替作为小数点的逗号“，”；
c)删除了国际标准的前言；
d)在3.4中增加了注，使本部分流量单位统一}
e)在4.2中增加了注，引出资料性附录A;
f)增加了资料性附录A，以供参考使用。
本部分由中国机械工业联合会提出。
本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。
本部分起草单位：山东淄博真空设备厂有限公司，沈阳真空技术研究所。
本部分主要起草人：黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。
GB/T 19956. 1-2005/iS0 1607-1:1993
容积真空泵性能测量方法
第1部分：体积流率（抽速）的测量
1范围
GB/T 19956的本部分规定了容积真空泵体积流率测量方法，所研究的泵是直接排大气的并且单
级获得低于100 Pal)的入口极限压力。
2术语和定义
下列术语和定义适用于GBjT 19956的本部分。
2.1
体积流率（抽速） volume rate of flOw (pumping speed)
在理想状态下，单位时间内流经泵入口的气体体积。
但在实际上，一个给定泵在规定条件下工作，对给定气体的体积流率(S)取该气体的流量(Q)与在
给定测试罩内规定位置的平衡压力（加的商。即：
S - o/p
体积流率采用的单位是立方米每小时(d/h)或升每秒(L/s)。
2.2
测试罩 test dome
是装在泵入口具有规定形状和尺寸的容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量
装置。
2.3
极限压力 ultimate pressure
泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向的最低压力。
3装置
3.1测试罩
如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1. 5D，D是罩的内径。实验气体进口在罩的轴线上，
并与连接法兰的距离为D，迸气U的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量人口压力和极
限压力的真空计在距离连接法兰0. 5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵人几法
兰平面。
测试罩的容积VD至少应是泵一个压缩周期扫过容积V，的5倍。在泵人口必须连接一个异径接
头，其长度不应超过O. SD（见图1）。对于给定规格的泵，罩尺寸在表】中给出。
1) 100 Pa---100 N/mz =1 mba; 133 Pa=l torr
GBlT 19956.1-2005/iS0 1607-1:1993
表1
┏━━━━━━━━┳━━━━━┳━━━━━┓
┃ V,,/L ┃ VD/L ┃ D/mm ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 0～0.26 ┃ 1 3 ┃ 100 ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 0. 26—1.1 ┃ 5 4 ┃ 160 ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ l_l～4 2 ┃ 21 ┃ 250 ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 4 2～17 ┃ 84 ┃ 400 ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 17～65 ┃ 325 ┃ 630 ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 65～260 ┃ 1 300 ┃ 1 000 ┃
┗━━━━━━━━┻━━━━━┻━━━━━┛
3.2压力计
对于压力高于或等于1 Pa时，其校准精度为±5%，对于更低压力，校准精度为土10%。
3.3试验气体
除另有规定外，应使用环境气体。
3.4气体流量测量装置
测量气体流量的方法根据所需的流量，其精度应达到：
a)流量大于9.9×l0 1 Pa．m3／s”为士3%；
b)流量在9.9×lO-l Pa．ms／s～9.9×10-s Pa．mz/s间为士5%;
c)更低流量为士10%。
注：理想气体状况假设是20℃。
4试验方法
4.1原理
所采用的方法是“定压”法，在测量过程中，泵口压力保持不变。实际上，如果测试罩内测得的压力
保持不变，这个条件就满足了。
4.2程序
为测体积流率，测试罩、压力计及流量计应按第3章装配到泵上。为了达到试验目的，泵应加规定
种类和数量的泵液，并按制造厂规定的转速运转，在试验期间，除另有规定外，环境温度在15℃～25℃
间保持不变，变动在±1℃内。当测试罩与进气泵统隔离时，应被抽空，直到th后，观察罩内压力不再
降低并且泵达到了平衡工作温度。然后应把气体引入罩内，以期产生要求的测量压力，并且在开始测量
前，系统要达到压力平衡状态。
体积流率（抽速）应在最低压力下开始测量，以不同的人口压力(在一个数量级至少测3点，大致是
2.5、5、10)逐点测量。每个测点的人口压力，环境大气压力和气体流量都应被测定。如果泵装有气镇装
置，应在充分气镇下重复试验。
人口压力和气体输入量应尽可能同时测量。如果输入气体超过60 s，压力测量应取60 s为一个周
期，并记录平均值。如果最高与最低读数相差超过10%，测量应重新进行。
注：气体流量的测量与计算可参见附录A。
5试验结果
人口压力和体积流率之间的关系应用曲线图表示。用对数横坐标表示压力，其范围从极限压力到
大气压力或适合泵结构的其他压力范围，线性纵坐标表示体积流率。入口压力和气体流量之间的对应
关系应用曲线图表示，用对数横坐标表示压力，对数纵坐标表示流量。如果泵装有气镇装置，应该画出
2) 1 Pa . m3/s=l OOO Pa . I./s
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