真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：分子泵

真空泵型号：STP-XA2703C

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Edwards STP磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转子，确保无污染的风险，同时将振动、噪音以及维护需求降至最低。STP泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。STP-XA2703C涡轮泵为高真空到2300sccm制程流的制程范围内提供高性能，并提高所有气体的吞吐量。此泵基于新的平台设计，提供各种功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高最大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。其出色的性能既适用于温和的应用环境，也适用于严苛的环境，例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。