真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：分子泵

真空泵型号：STPA2203C

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Edwards STPA2203C是为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵。它使用先进的转子技术，可实现一流的性能，最大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间，而且采用直流驱动技术，无需电池即可运行。STPA2203C已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用，并得到了认可。