真空泵品牌：爱德华Edwards

真空泵类型：分子泵

真空泵型号：STPA1603C

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小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、最高的可靠性和一流的性能，满足最新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在最新的200mm刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。