真空泵极限压力测试方法行业标准
分类：技术资料 发布时间：2017-04-17 10:48:00 浏览量：
中华人民共和国国家标准
变容真空泵极限压力测试方法
Measurement of ultImate pressvre of
positive-Displacement vacuum pumps
UDC 621.521:的1
-788
GB 630S.2-88
本标准适用于单级极限压力低于100Pa，并能直接向大气空间排气的变容真空泵（以下简称泵）极
限压力的测试。
本标准是变容真空泵性能测试方法系列标准之一。
本标准等效采用国际标准IS0 1607/Ⅱ-1980《变容真空泵性能测试方法一第二部分：极限压力
的测试》。
1 名词术语
1.1极限压力 1
泵按规定条件运转，在不引入气体的测试罩内趋向稳定的最低压力，Pa。
1.2测试罩
装在泵口上的具有规定形状和容积的容器，经过计量的测试气体通过它充入泵内，其上装有微调
阀和真空计。
2测试装置
2.1 测试罩
罩为圆筒形（图la）。其内径为D，高为1.5D，测试气体入口位于罩的轴线上，并背向泵口与罩
法兰平面的距离为D。真空计（或规管）旌接管轴线距法兰平面0.5D，并垂直于罩轴线。
罩的容积(VD)至少应是泵一个压缩周期扫过容积(VP)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个
长度不超过0.5D的异径管接头，不同舰格的泵适用的测试罩由表l给出。
国家标准局1986 -04 -25发布 1987 - 01 - 01实施
GB 8806.2-86
接辅助气阀
雷
≯0.1 Dmu
：b
图1 测试罩结构
表l
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┃ 编号 ┃ 矿P L ┃ 矿DL ┃ D mm ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 1 ┃ 0—0.26 ┃ 1.3 ┃ 100 ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 2 ┃ 0.26—1.1 ┃ 5.4 ┃ 160 ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 3 ┃ 1.1—4.2 ┃ 21 ┃ 250 ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 4 ┃ 4.2—17 ┃ 84 ┃ 400 ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 5 ┃ 17—65 ┃ 325 ┃ 630 ┃
┣━━━━━╋━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━┫
┃ 6 ┃ 65—260 ┃ 1300 ┃ 1000 ┃
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2.2真空计
2. 2.1压缩式真空计
采用标准压缩式真空计测量泵的非可凝性气体的极限分压，其校准精度为：
压力大于或等于lPa，在±5%以内I压力低于1 Pa，在±10%以内。
2.2.2全压真空计 真空泵维修
采用灵敏度与气体（或蒸气）种类无关的真空计，如膜片计测泵的极限全压。该计须以被测压力
±10%的精度校准。规管与罩之间不准接有任何型式的冷阱。
GB 6306.2-86
3测试条件
测试时应符合以下条件t
-． 泵实际转速与额定值之差不大于±3%I
b． 泵液种类和数量应符合设计要求I
c． 水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求I
d．环境温度在20～25℃之间I
e． 测试气体为室内空气，相对湿度不大于75%I
f．测气镇泵时，其掺气量应符合设计要求。
●测试方法
4.1 原理
将规定的测试罩装在泵口上，在平衡温度下测罩内极限压力。
4.2步骤
极限压力测试装置如图2所示。
关闭微调阀，开泵运转，并充分气镇，泵温平衡后每30 min测一次压力。当连续三次测试结果
表明压力不再变化，即算达到极限压力。分别记取压缩式真空计和全压真空计读数，保留两位有效数
字。
对于气镇泵，应在上述测试之后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测试气镇时的极
限压力。
5测试报告
将测试结果填人《真空泵性能测试记录表））。
- IS0 1607/Ⅱ-19 78为连续运转24h以后。
GB 6806.2-86
A．1 压缩式真空计
附录A
压缩式真空计和压力测量
（补充件）
采用的标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效检定证书。
使用的汞必须具有99.999%的纯度，并经过充分过滤、清洗和真空蒸馏，不使用时，计内应保持
真空。
采用纯度不低于99.9%的氮气来提升计内的汞。
真空计与测试罩之间，不准有橡胶管’和带有真空油脂的玻璃阀门。
真空计应装有一只球形冷阱（见雷）。
A．2测量方法
为潮泵的极限分压，计的冷阱内应灌满液氮。采用“无标定标法，，’提升汞的速度不得太决，提升
结束至少稳定1 min，方可读数。
球形冷阱
附加说明：
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。
本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所起草。
本标准起草人徐光、高峰、张书范。
