蒸汽流真空泵抽速率体流率国家测试标准（一）
分类：技术资料 发布时间：2017-04-19 22:03:00 浏览量：
中华人民共和国国家标准
蒸汽流真空泵抽速率体流率国家测试标准
Vapour vacuum pumps-
Measurement of pumpIng speed
(rrolume rate of flo.v)
UDC 62/.醒7．髓2
.575.z
GB 6801.1-88
本标准适用于蒸汽流真空泵（包括扩散泵、扩散喷射泵等）抽气速率（体积流率）的测试。
本标准等效采用IS0 1608/1 -1980《（蒸汽流真空泵性能测试方法一第一部分。体积流率（抽气速
率）的测试》。
本标准系蒸汽流真空泵性能测试方法的第一部分。
1名词术语
1.1抽气速率（体积流率）
泵按规定条件工作，从测试罩流过的气体流量与罩指定位置上测得的平衡压力之比，简称抽速。
1.2测试罩
指装在泵入口处的具有规定的型式和尺寸的容器。测试气体通过它充入泵内，其侧壁装有充气阀
及真空计规管。
1.3极限压力
泵按规定条件工作，不引入气体的测试罩内，趋向稳定的最低压力。
2测试装置
2.1测试装置的组成
测试装置如图l所示。与被试泵相连接的测试罩侧壁装有真空计规管和微调阀，通过微调阀与流
量测试装置相连。
GB 6 3 01.1-86
图l
2.2测试罩
指如图2所示的圆筒形容器。罩的内径D_与泵口内径相等，顶部具有10。斜面，轴线高度为i.sD。
气体通过弯管充入罩内，弯管开口向上，且位于测试罩轴线上。弯管开口平面与泵口法兰平面的距离
为D，规管与罩的连接管在距泵口法兰平面0.5D处，其轴线垂直于测试罩轴线。
图2
测试罩外表面绕焊水冷管或其他水冷装置，专用于泵液返流率的测试。
GB 6307.1-86
2.3真空计
规管与测试罩间连接管的流导，至少应为3L/s。连接管端应突出于罩内壁5mm，开口平面应平
行于气流流动方向。如果使用冷阱，则应放置于规管与测试罩之间，且保持冷剂的液位不变。
’ 测试过程中，真空计压力读数取二位有效数字，并注明真空计种类。所用真空计必须经过国家计
量部门承认的校准单位对干燥空气进行校准。
当压力高于或等于lPa，校准精度应在±5%以内，压力更低时，校准精度应在±10%以内。
注：使用固体二氧化碳（干冰）和乙醇的混合物，将冷阱冷却到- 10一- 30℃，不得使用液氮。
2.4气体流量测试装置（流量计）
根据气体流量选用流量计。通常采用滴管式流量装置，由量杯、变压器油、滴管及连接胶管等组
成，如图3所示。
量杯直径应大于滴管直径的5倍，滴管容量可根据被试泵抽气量参照表1选择。
图3
表1
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┃ 泵的抽气量 ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃
┃ ┃ <10 ┃ 10～50 ┃ >50 N100 ┃ >100～500 ┃ > 500～IOOO ┃ >1000 ┃
┃ Pa．L/s ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃
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┃ 滴管容量 ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃
┃ ┃ 5～10 ┃ IO ┃ 20 ┃ 50 ┃ 100～200 ┃ >200 ┃
┃ mL ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃ ┃
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通常流量测量的误差应在±5%以内。
