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GBlT 19956.2容积真空泵极限压力的测量国家标准

分类:技术资料 发布时间:2017-07-19 23:10:00 浏览量:

ICS 23. 160
J 78
 
中华人民共和国国家标准
GBlT 19956.2-2005/IS0 1607 2:1989
容积真空泵性能测量方法
第2部分:极限压力的测量
Positive-displacement vacuum pumps-Measurement of performance
      characteristics-Part 2:Measurement of ujtimate pressure
2005-09-19发布
(IS0 1607-2:1989, IDT)
2006-04-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总复发布
中国国家标准化管理委员会

前    言
GB/T  19956. 2-2005/IS0 1607-2:1989
 GB/T 19956《容积真空泵性能测量方法》分为两个部分;
——第1部分:体积流率(抽速)的测量;
——第2部分:极限压力的测量。
本部分为GB/T 19956的第2部分。
本部分等同采用IS0 1607-2:1989《容积真空泵性能测量第2部分:极限压力的测量》(英文版)。
本部分代替JB/T 7266-1994《容积真空泵性能测量方法》。
本部分等同翻译IS0 1607-2:1989。
为便于使用,本部分做了下列编辑性修改:
a)  “IS0 1607的本部分”一词改为“GB/T  19956的本部分”;
b)用小数点符号“.”代替作为小数点的逗号“,”;
c)删除了国际标准的前言}
d)增加了资料性附录A,以供参考使用。
本部分由中国机械工业联合会提出。
本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。
本部分起草单位:山东淄博真空设备厂有限公司,沈阳真空技术研究所。
本部分主要起草人:黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。

GB/T  19956. 2-2005/IS0 1607-2:1989
容积真空泵性能测量方法
第2部分:极限压力的测量
1范围
    GBlT 19956的本部分规定了容积真空泵极限压力测量方法,所研究的泵是直接排大气的并且单
级低于100 Pal)的人口极限压力。
2规范性引用文件
    下列文件中的条款通过GB/T  19956的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文
件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分,然而,鼓励根据本部分达成
协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本
部分。
    GB/T 19956.1-2005容积真空泵性能测量方法第1部分:体积流率(抽速)的测量(IS0 1607-
1:1993,IDT)
3术语和定义
    下列术语和定义适用于GB/T 19956的本部分。
3.1
    极限压力  ultimate pressure
    泵在正常工作情况下,关闭进气阀门,测试罩内挡向的最低压力。在非可凝性气体极限压力和极限
全压力之间必定产生一个差别。
3.2
    测试罩test dome
    是装在泵入口具有规定形状和尺寸的容器,被测量的气体通过它进入泵内,其上装有压力测量
装置。
4装置
4.1铡试罩
    如图1所示,形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1- SD,此处,D是罩的内径。试验气体进口在罩的轴
线上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量人口压力
和极限压力的真空计在距离连接法兰0. 5D处,其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵人
口法兰平面。
    测试罩的容积VD至少应是泵一个压缩周期扫过容积VP的5倍。在泵入口必须连接一个异径接
头,其长度不应超过0. 5D(见图1)。对于给定规格的泵,罩尺寸在表1中给出。
l)    IOO Pa=100 N/mz =1 mbar 133 Pa=l torr

GB/T  19956. 2-2005/IS0 1607-2:1989
褒1
┏━━━━━━━━┳━━━━━┳━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┓
┃    V    P/L   ┃    VD/L  ┃    D/mm                                                             ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    0—0. 26    ┃    1.3   ┃    100                                                               ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    0 26~1. l  ┃    5.4   ┃    160                                                               ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    1.1—4.2    ┃    21    ┃    250                                                               ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    4 2~17     ┃    84    ┃    400                                                               ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    17—65      ┃    325   ┃    630                                                               ┃
┣━━━━━━━━╋━━━━━╋━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    65-260      ┃    1 300 ┃    1 000                                                             ┃
┣━━━━━━━━┻━━━━━┻━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┫
┃    注:实际上,测试罩在形式上与已经采用的容积真空泵体积流率测量(见GB/T 19956.卜-zo05)是同步的。就 ┃
┃    极限压力测量而论,气体实际进口不需要按规定安排。罩的温度应保持在20'C到25℃之间。                ┃
┗━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━┛
4.2压力计
    测量的极限压力仅限于非可凝性气体,计的校准精度,对于压力高于或等于1 Pa时为士5%,对于
更低压力,校准精度为士10%。压力计应用适当设计的冷阱与其相连以保证仅响应非可凝性气体的
压力。
4.3真空计
    测量极限压力的真空计,如薄膜计,其灵敏度与气体或蒸汽性质无关。
    真空计应以被测压力士10%的精度校准,对于这种测量,在罩和计的连接管路间,不应装冷阱。
5试验方法
5.1原理
    所采用的方法是将规定型式的测试罩装到泵的人口上,在规定的温度下测量极限压力。
5.2程序
    首先在确保罩内的内表面清洁、干燥以后,将测试罩装到泵人口上。按照测量要求,压力计和真空
计(见4.2和4.3)虚与测试罩连接。如果罩在测量前烘烤了,冷却后,应在几分钟内充入周围干燥空
气,使压力至少到100 Pa,然后应关闭罩的进气口。
    泵应注入规定种类和数量的新油,并按制造厂规定的转速运转。除另有规定外,环境温度应低于
25℃。启动后,泵应在气镇下至少运转th,然后关气镇再运转th,此后,应以30 min时间间隔进行压
力测量,当3次连续压力测量表明压力不再进一步降低时,即认为达到了极限压力。
    上述试验也可以在充分气镇下(气镇阀全开)进行。直到泵已经达到平衡温度,才开始一系列测量。
    注:真空计的选用参见附录A。
6试验报告
  全部试验结果报告,应指出试验准确性和试验条件。
6.1    -般条件
    a)结果指的是极限全压力还是非可凝性气体的压力
    b)在运转中是否有气镇。
6.2附加条件
    a)所用测量仪器的类型和工作条件;.
    b)泵人口上的密封型式和所用密封材料;
    c)所用的阱的型式及其在试验时的温度;
    d)冷却水流量;
    e)泵的转速;

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GB/T  19956. 2-2005/IS0 1607-2:1989
附录A
(资料性附录)
真空计的选用
A.1导言
    本附录给出容积真空泵极限压力测量所选用的真空计。
A.2真空计的选用
A.2.1  压力低于10 Pa,用标准压缩式真空计。
A.2.2压力在10 Pa -4×l03 Pa之间,用U形管真空计。
A.2.3压力在10 Pa—l×lOs Pa之间,用汞单管真空计。
A.2.4真空计应具有计量部门签发的有效证书。

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