GB/T 21272-2007蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流
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中华人民共和国国家标准
GB/T 21272-2007
蒸汽流真空泵性能测量方法
泵液返流率和加热时间的测量
Vapour vacuum pumps measurement of performance characteristics-
Measurement of back-streaming rate of pump fluid and the heating time
2007-12-02发布
2008-06-01实施
巾华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GBlT 21272-2007
本标准修改采用DIN 28427:1983《泵液蒸汽压低于1 mbar的扩散泵和蒸汽射流真空泵验收规则》
（德文版）。
根据需要，本标准在采用DIN 28427：1983时进行了修改。这些技术性差异用垂直单线标示在它
们所涉及的条款的页边空白处。在附录A中给出了本标准与DIN 28427:1983技术性差异及其原因的
一览表，以供参考。
为便于使用，本标准还做了下列编辑性修改：
——“本验收规则”一词改为“本标准”；
——删除了DIN 28427:1983的前言。
本标准附录A为资料性附录。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)归口。
本标准负责起草单位：兰州真空设备有限责任公司。
本标准参加起草单位：辽宁真龙真空设备制造有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：温发兰、徐玉江、许艳巧、林森、王学智。
蒸汽流真空泵性能测量方法
泵液返流率和加热时间的测量
GB/T 21272-2007
1 范围
本标准规定了蒸汽流真空泵泵液返流率和加热时间的测量方法。
本标准适用于下列蒸汽流真空泵：扩散泵、扩散喷射泵（以下简称为泵）。泵工作室温为(20±5)9C，
泵工作液蒸汽压低于100 Pa。
2术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。
2.1
泵液返流率 back-streaming rate of pump fluid
泵按规定条件工作时，在单位时间内通过泵入口单位面积，并与被抽气体流动方向相反的泵液质量
流量。
2.2
加热时间 heating time
泵的加热时间，系指开始接通泵的加热器电源，到泵起抽气作用时的时间间隔。
2.3
测试罩test dome
是个装在泵人口具有规定形状和尺寸的容器，试验气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。
3泵液返流率的测量
3.1 装置
3.1.1 测试罩
如图1所示，测试罩为圆筒形钟罩式容器，罩的内径D与泵口内径相等，罩体上盖可为圆形、锥形
或斜坡形。罩的轴向尺寸为1. 5D。试验气体的进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D，进气口
的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量压力的规管连接管在距离连接法兰0. 5D赴，其
轴线应垂直于测试罩的轴线，测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。
测试罩应设有调节罩壁温度的装置，如外表面绕焊水冷管或其他水冷装置等。
3.1.2测量法兰
如图2所示，用一个内表面开设有斜槽的法兰收集返流的泵液，法兰内径与泵口及测试罩内径
相等。
3.1.3测量管
如图2所示，用以测量返流的泵液量的器具，是一个带有刻度的玻璃制测量管，管的刻度误差应不
大于土5%。测量管的上端有一软管接头，侧面有一分支管。测量部位可用两个真空密封的旋塞关闭。
下方有一收集容器，通过另一旋塞同一台小型真空泵连接。
也可使用如图3所示的装置，此时的测量管下端封闭。
3.1.4真空计
规管与测试罩间连接管的流导至少应为3 L/s。连接管端应突出于罩内壁1 mm。
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GB/T 21272-2007
1-测试罩；
2-测量法兰；
3-扩散泵；
4-真空胶管；
5-测量管。
图3测量装置2
测量所用真空计应进行校准。当压力高于或等于1Pa时，校准精度应为±5%;压力更低时，校准
精度为±10%。
如果真空计规管与测试罩之间已装设冷阱，则在测量过程中不许装添冷剂。
3.2试验条件
3.2.1 试验气体
除另有规定外，应使用干燥空气。
3.2.2加热和冷却
全部试验应遵循下列限定值：
泵的加热功率变化为±10%，冷却水进口温度的变化为±5℃。冷却水最高出口温度按制造厂规
定，若无规定，则不得超过30℃。
3.2.3泵液
试验中所用泵液的种类、牌号和用量，应符合制造厂的规定。如果样本中列出多种泵液，则选用给
出有效数据的泵液。
3.3程序
按图2所示的装置，将测量法兰连同装好的测试罩一起，安装到泵的入口法兰上，并使泵和前级泵
处于操作状态。将真空计接到测试罩相应的法兰上，测量法兰通过真空软管与测量管相连接。
在第3章规定的条件下，泵接通后抽空测试罩。当测量管内出现返流的泵液时，开始记录时间、测
试罩内的压力及测量管内积存的泵液体积。
测量过程中，测试罩应保持在(20±1)℃的温度。
所需要的测量时间，基本取决于系的规格和泵液返流率。中等规格的泵，一般需数小时的测量时
间，大泵有时长达50 h。
3.4计算
在测量管上读出的数值为泵液的体积，其随时间的延长而增多，应用式(1)对泵液体积进行换算：
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