真空泵临界前级压力测试行业标准（二）
分类：技术资料 发布时间：2017-04-20 21:21:00 浏览量：
试罩之间，且保持冷剂的液位不变。前级管路上的真空计规管(C)应垂直安放。各真空计规管开口
平面应平行于气流流动方向。
测量过程中，真空计压力读数取二位有效数字，并注明真空计种类。所用真空计必须经过国家计
量部门承认的校准单位对干燥空气进行校准。
当压力高于或等于IPa时，校准精度应在±5%以内，压力更低时，校准精度在±10%以内。
注。使用固体二氧化碳（干冰）和乙醇的混合物，将冷阱冷却到- 10～- 80-C，不得使用液氮。
3测试条件
3.1测试气体
除另有规定外，应使用干燥空气。
注；空气的干燥一般用硅胶为宜。
3.2环境温度
除另有规定外，测试过程应在15～25℃的某一温度下进行，并允许在±l℃内变动。泵入口以上
的装置及前级管路的温度，也应在15～25℃之间，稳定在±l℃。
3.3泵的加热和冷却
泵的加热功率及冷却条件，应符合制造厂的规定。测试前30min起，加热功率的变化应在±5%
以内。
3.4泵液及前级泵
泵液的种类、牌号和用量以及配用前级泵，均应符合制造厂的规定。
4测试方法
泵按规定条件工作，待测试罩达到或接近极限压力后，方可进行临界前级压力的测试。
通过微调阀（彳），调整测试罩的气体压为，并稳定在最大工作压力附近(柚扩散泵为3×l0-2Pa，
油扩散喷射泵为7×lO-lPa)，然后通过微调阀（曰）缓慢地升高前级管路内的气体压力，直到测试
罩内的压力上升10%或突然急剧升高的瞬间。相应的前级压力值，即为“满载，，临界前级压力，代表
泵的临界前级压力。
如果高真空侧的压力，没有突然升高的表现，便需测量“空载”前级压力。当测试罩达到或接近
极限压力时，通过前级管路上的微调阀(B)，使前级压力缓慢地升高，便可测得一系列测试罩的压
力值，与前级压力相对应。从而得到泵人口压力随前级压力变化的关系。
5测试报告
按上述第4条测试方法测得的“满载”临界前级压力值，取二位有效数字。记作泵的临界前级压
力。以帕(Pa)表示。
在介绍测试数据时，应同时注明下列测试条件：
a． 真空计及其规管的型号和校准情况，
b． 泵的加热功率及其在测试过程中的变化情况I
c． 泵液的牌号及数量I
d． 泵的冷却水进、出温度及流量}
e． 配用前级泵的型号及抽速；
f． 环境温度及大气压。
在前级压力缓慢升高过程中，如果泵入口压力没有突然升高的表现，则应在测试罩达到或接近极
限压力时，测出泵入口压力随前级压力的变化关系，并绘制坐标曲线。
洲…6
㈣：
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。
本标准由机械工业部沈阳鸵技术研究所起草。
本标准主要起草人张瑶、王京国、张书范。
